MEMS液体流量传感器特点：
• 无移动部件，高度可靠 • 数字输出，使用方便 • 低成本 工作原理 • 基于MEMS热式流量传感器 • 芯片中无薄膜或空穴结构，坚固可靠 • 管道和芯片采用食品级材料保护，保 证安全 • 使用微电子热偶堆测量温度变化，实现高分辨率和高度一致性。
