MEMS原理的气流传感器具有灵敏度高、一致性好 ,提供全时在线风速监测 ,不受油烟、粉尘影响 ,低成本 。
工作原理:基于MEMS热式流量传感器 ,芯片中无薄膜或空穴结构,坚固可靠 ,使用微电子热偶堆测量温度变化,实 现高分辨率和高度一致性。广泛用于以下产品中: